соргуч:
Жаңы TX модулу 22um@3sigmaга чейин максималдуу тактык менен иштей алат, 103.800CPh ылдамдыкка жетишет жана 0201 (мм) компоненттеринин өтө тыгыз аралыгын эң жогорку ылдамдыкта орното алат, Жогорку тактык үчүн соргучтун жардамы керек. Эгерде соргучтан вакуум агып кетсе, жабдуулар жетишсиз вакуумду көрсөтөт жана жабылат, Ката жөнүндө тез-тез кабарлоо жабдуулардын натыйжалуулугуна жана сапатына терс таасирин тийгизет.